技術(shù)文章
Technical articles干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置，專(zhuān)為要求更加潔凈、無(wú)油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。它通常由兩個(gè)核心部分組成：干式前級(jí)機(jī)械泵泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤(rùn)滑，從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈，消除碳?xì)浠衔镂廴撅L(fēng)險(xiǎn)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，晶圓廠(chǎng)的核心工藝設(shè)備（刻蝕機(jī)、CVD、PVD、ALD、離子注入機(jī)）；高1端光學(xué)鍍膜：激光反射鏡、天文望遠(yuǎn)鏡鏡片、光刻鏡頭鍍膜；表面科學(xué)與分析；掃描/透射電子顯微鏡(SEM/TEM)樣品室和電子槍等要求嚴(yán)苛...
150W/13.56MHz射頻電源，專(zhuān)用于精密干法清洗與表面活化。內(nèi)置2L高純石英腔體，支持手動(dòng)阻抗匹配（50Ω），電容耦合，真空度≤50Pa。緊湊設(shè)計(jì)（450×450×360mm），集成射頻控制、觀(guān)察窗（Φ50）及強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)。拓展使用場(chǎng)景半導(dǎo)體/電子：芯片封裝前清洗（COG工藝）、PCB除膠、繼電器觸點(diǎn)活化。材料改性：塑料/橡膠粘接面活化、陶瓷金屬鍍膜前處理?？蒲嗅t(yī)療：生物傳感器清洗、細(xì)胞培養(yǎng)器皿親水化、實(shí)驗(yàn)器械滅菌。教學(xué)演示：直觀(guān)觀(guān)察等離子體反應(yīng)過(guò)程（通過(guò)觀(guān)察窗...
高溫真空腔在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。在材料科學(xué)領(lǐng)域，它可以用于研究材料在高溫高真空環(huán)境下的性能變化，如材料的熱穩(wěn)定性、相變行為、擴(kuò)散動(dòng)力學(xué)等。通過(guò)對(duì)材料進(jìn)行熱處理和測(cè)試，可以深入了解材料的特性，為新材料的研發(fā)和優(yōu)化提供重要依據(jù)。在電子工業(yè)中，可用于電子元器件的制造和可靠性測(cè)試。例如，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中，需要在高溫高真空環(huán)境下進(jìn)行摻雜、氧化等工藝步驟，以確保器件的性能和質(zhì)量。此外，航空航天、能源等領(lǐng)域也離不開(kāi)高溫真空腔的應(yīng)用。高溫真空腔的檢定是一個(gè)復(fù)雜且精細(xì)的過(guò)程，涉及了...
真空封管機(jī)是實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)生產(chǎn)中用于封裝玻璃安瓿、西林瓶等容器的關(guān)鍵設(shè)備，其故障可能由真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、機(jī)械結(jié)構(gòu)或控制系統(tǒng)等問(wèn)題引發(fā)。以下是常見(jiàn)故障的分類(lèi)解析與解決思路，供維護(hù)參考。一、真空系統(tǒng)故障1.故障現(xiàn)象：真空度不足(無(wú)法達(dá)到設(shè)定值)、抽氣時(shí)間過(guò)長(zhǎng)、封口處有氣泡。原因分析：-真空泵性能下降(如泵油污染、濾芯堵塞、活塞磨損)。-真空管路漏氣(接頭松動(dòng)、密封圈老化、管道破裂)。-閥門(mén)故障(電磁閥失靈、氣動(dòng)閥密封不嚴(yán))。-真空規(guī)或傳感器校準(zhǔn)偏差。解決方法：-檢查真空泵：更換泵...
KT-1ZF是科探儀器自主研發(fā)的高效真空封管系統(tǒng)，專(zhuān)為實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì)，集高真空密封、自動(dòng)化操作和多場(chǎng)景兼容性于一體。其核心功能包括：高真空性能：真空漏率≤2×10?1?Pa·m3/s，真空度達(dá)5×10??Pa（分子泵），確保密封隔絕性。智能控制：旋轉(zhuǎn)密封法蘭支持0-20轉(zhuǎn)/分鐘可調(diào)轉(zhuǎn)速（數(shù)顯調(diào)節(jié)），無(wú)需手動(dòng)操作，顯著提升密封效率。廣泛兼容性：支持φ8-45mm試管外徑、壁厚≤2mm的石英/硼酸鹽玻璃管，最長(zhǎng)500mm試管密封。模塊化設(shè)計(jì)：標(biāo)配KF25抽氣接口、6mm快擰...
一、核心功能概述精準(zhǔn)氣體配比：支持多段程序控制（5段可編程），時(shí)間-流量自由設(shè)定，適配復(fù)雜氣體混合需求。多氣體兼容性：可外接兩種或多種氣體，支持更換氣體并自定義氣體系數(shù)（如H?、N?、Ar等）。耐腐蝕設(shè)計(jì)：316不銹鋼管道及雙卡套接頭，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性和防泄漏性能。靈活擴(kuò)展性：可選配氣體加熱功能（室溫至350℃）、多種接口尺寸（3mm-1/4"），適應(yīng)多樣化需求。高可靠性：機(jī)械壓力表+抗電磁干擾設(shè)計(jì)，保障工業(yè)環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行。二、應(yīng)用場(chǎng)景實(shí)驗(yàn)室研究；材料科學(xué)：為真空管式爐提供精確還...
高溫真空腔的腔體通常采用特殊的材料制成，這些材料需要具備良好的耐高溫性能、氣密性以及機(jī)械強(qiáng)度。例如，不銹鋼是常用的腔體材料之一，它能夠在較高溫度下保持穩(wěn)定的物理和化學(xué)性質(zhì)，不易變形和氧化。同時(shí)，為了確保腔體的密封性，會(huì)采用特殊的密封結(jié)構(gòu)和材料，如橡膠密封圈或金屬密封環(huán)等，以防止氣體泄漏，維持腔體內(nèi)的真空環(huán)境。1.加熱系統(tǒng)要實(shí)現(xiàn)高溫環(huán)境，高溫真空腔配備了專(zhuān)門(mén)的加熱系統(tǒng)。常見(jiàn)的加熱方式有電阻加熱、感應(yīng)加熱等。電阻加熱是通過(guò)電流流經(jīng)具有電阻的加熱元件產(chǎn)生熱量，從而對(duì)腔體進(jìn)行加熱。這...
新品發(fā)布-模擬高溫高壓下樣品表面侵蝕反應(yīng)設(shè)備腔體溫度1000℃，可同時(shí)施加高壓測(cè)試，四周開(kāi)窗用于觀(guān)察環(huán)境下樣品表面侵蝕效果顆粒物撞擊與高溫表面相互作用研究在真空或低壓環(huán)境下，通過(guò)氮?dú)廨d流將微米級(jí)顆粒物加速至高溫樣品表面，研究顆粒物在高溫環(huán)境下的撞擊行為、形變、熔化、反彈或粘附現(xiàn)象。2.材料熱沖擊或熱損傷行為研究通過(guò)高溫樣品與微米顆粒物的撞擊，模擬實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景(如航空航天器表面、大氣飛行器在高溫環(huán)境中的顆粒侵蝕)，分析材料的抗沖擊性能、表面損傷與動(dòng)態(tài)響應(yīng)。3.顆粒物動(dòng)力學(xué)與相變...
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